• 产品名称：晶圆传输机器人伺服驱动器
• 产品简介：这是应用材料公司为半导体晶圆传输机器人设计的专用伺服驱动器，负责驱动机器人的伺服电机，控制机器人的运动轨迹与速度，具备高精度、高响应等特点，保障晶圆在传输过程中的精准定位与平稳移动，是晶圆传输系统中保障晶圆完整性与传输效率的核心部件。
• 技术规格
  • 适配电机类型为三相永磁同步伺服电机，适配晶圆传输机器人的伺服电机规格。
  • 额定输出功率为 2kW，额定输出电流为 8A，满足机器人的动力需求。
  • 控制精度为 ±0.01mm，保障晶圆传输的定位精度。
  • 通信接口支持 Ethernet/IP，通信速率为 100Mbps，便于与机器人控制系统对接。
  • 工作电压为 AC 200-240V，频率 50/60Hz，兼容不同地区供电标准。
• 功能特点
  • 采用矢量控制算法，动态响应速度快，加速时间小于 100ms，保障机器人快速精准运动。
  • 具备过流、过压、过温、过载等多重保护功能，保护驱动器与电机免受损坏。
  • 支持位置、速度、扭矩三种控制模式，适配机器人不同的运动需求。
  • 内置参数自整定功能，可自动适配电机参数，简化调试流程。
• 应用场景：广泛应用于半导体晶圆传输系统，如 EFEM（设备前端模块）、晶圆存储系统中的传输机器人，负责 200mm、300mm 晶圆的传输、定位与装卸，保障晶圆在各工艺设备之间的高效、安全传输，适配逻辑芯片、存储芯片等半导体器件的制造流程。