• 产品名称：系统控制印刷电路板
• 产品简介：该印刷电路板是应用材料公司研发的半导体设备控制系统核心部件，承担着设备各类控制信号的处理、运算以及指令输出等功能，集成多种接口与控制电路，能实现对设备各部件的协同控制，是保障半导体设备自动化、精准化运行的关键基础部件。
• 技术规格
  • 采用工业级 PCB 板材，尺寸为 300mm×200mm×2.0mm，符合设备安装标准。
  • 集成 32 路数字输入通道和 16 路数字输出通道，满足设备多信号采集与控制需求。
  • 适配电压范围为 DC 12-24V，工作电流为 5A，功耗小于 25W，能耗较低。
  • 工作温度范围为 - 40℃至 85℃，适配半导体设备的严苛工作环境。
  • 支持 RS485、CAN 等多种通信接口，便于与其他控制部件对接。
• 功能特点
  • 信号处理速度快，数据传输速率可达 10Mbps，保障控制指令的快速执行。
  • 具备过压、过流保护电路，防止电路损坏，提升电路板的可靠性。
  • 采用模块化设计，各功能单元独立，故障排查与维修便捷，可快速更换故障模块。
  • 抗干扰能力强，输出纹波小于 50mV，保障信号传输的稳定性。
• 应用场景：适用于各类半导体制造设备的控制系统，如离子注入机、快速热退火设备、薄膜沉积设备等，用于处理温度、压力、流量等工艺参数信号，并输出控制指令，驱动执行机构，保障工艺的精准执行，适配 200mm、300mm 晶圆的制造设备。