• 产品名称：高压直流继电器
• 产品简介：该继电器是应用材料公司专为半导体设备高压供电系统设计的核心控制部件，负责高压电路的通断控制与回路保护，能在半导体设备严苛的电气环境中稳定工作，实现高压电源与负载之间的精准通断切换，是保障设备高压供电系统安全、可靠运行的关键元件，适配各类半导体设备的高压电气回路控制需求。
• 技术规格
  • 额定工作电压为 DC 1000V，额定工作电流为 20A，满足半导体设备高压供电回路的负载要求。
  • 触点类型为单刀单掷常闭型，触点接触电阻小于 50mΩ，导电性能优异。
  • 线圈工作电压为 DC 24V，线圈功耗小于 5W，适配设备控制系统的供电标准。
  • 动作响应时间小于 30ms，释放响应时间小于 20ms，通断切换速度快。
  • 工作温度范围为 - 40℃至 85℃，防护等级为 IP65，适应设备内部高低温、多粉尘的工作环境。
• 功能特点
  • 具备灭弧结构设计，能有效熄灭高压通断过程中产生的电弧，防止触点烧蚀，延长使用寿命。
  • 内置过流检测模块，当回路电流超出额定值时自动断开，实现回路过载保护。
  • 机械寿命可达 100 万次以上，电气寿命可达 10 万次以上，耐用性强。
  • 结构紧凑，采用卡扣式安装设计，适配设备内部狭小的安装空间，拆装便捷。
• 应用场景：主要应用于半导体设备的高压供电系统，如离子注入机的高压电源回路、等离子体刻蚀设备的射频高压回路、高压静电卡盘的供电回路等，实现高压电路的精准通断控制与过载保护，适配 200mm、300mm 晶圆的各类制造设备，保障设备高压电气系统的运行安全。