• 产品名称：高精度比例气动阀
• 产品简介：该气动阀是应用材料公司为半导体设备流体控制系统研发的高精度调节部件，采用比例控制技术，能根据控制系统的电信号精准调节阀门开度，实现工艺气体、真空抽气等流体流量的连续、精准控制，具备调节精度高、响应速度快等特点，是保障半导体工艺流体参数稳定的核心元件，适配各类高精度流体控制需求。
• 技术规格
  • 流量调节范围为 0-100L/min（标况下氮气），调节精度为 ±0.5% FS，控制精度高。
  • 输入控制信号为 4-20mA 模拟信号，与设备控制系统无缝对接。
  • 额定工作压力为 0-1.0MPa，适配半导体工艺流体的压力范围。
  • 阀体材质为 316L 不锈钢，密封件采用全氟醚橡胶，耐化学腐蚀性强。
  • 响应时间小于 50ms，能快速跟随控制信号调整阀门开度，动态响应性能优异。
• 功能特点
  • 采用闭环比例控制设计，内置流量传感器，实时反馈流量数据，实现流量的精准闭环调节。
  • 流量调节线性度好，线性误差小于 1%，确保不同开度下流量调节的一致性。
  • 具备零点与满度校准功能，可通过设备控制系统直接校准，调试便捷。
  • 密封性能优异，泄漏率小于 10⁻⁹Pa・m³/s，避免流体泄漏影响工艺环境。
  • 耐污染能力强，阀体内部流道经过电解抛光处理，减少流体残留与杂质吸附。
• 应用场景：广泛应用于半导体设备的工艺气体输送系统、真空抽气系统、清洗气体供应系统等，如化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）、刻蚀设备等，用于精准调节反应气体、载气、清洗气体的流量，以及真空腔体的抽气速率，适配 200mm、300mm 晶圆的各类制造工艺，保障流体参数的稳定与工艺的一致性。