• 产品名称：工业级光电传感器
• 产品简介：该光电传感器是应用材料公司专为半导体设备自动化控制系统设计的高精度检测部件，采用漫反射式检测原理，能非接触式精准检测晶圆、设备部件的位置、有无等状态，将检测信号转换为标准电信号传输给设备控制系统，具备检测精度高、抗干扰能力强等特点，是实现半导体设备自动化运行的关键检测元件。
• 技术规格
  • 检测距离为 50-300mm，检测精度为 ±0.1mm，能精准检测微小部件的位置状态。
  • 检测对象为晶圆、金属部件、石英部件等，适配半导体设备的各类检测目标。
  • 输出信号为 NPN/PNP 双输出，可根据设备需求灵活切换，输出电流为 200mA。
  • 工作电压为 DC 12-24V，功耗小于 1W，适配设备控制系统的供电标准。
  • 工作温度范围为 - 30℃至 90℃，防护等级为 IP67，适应设备内部恶劣的工作环境。
• 功能特点
  • 具备抗光干扰功能，能抵御设备内部强光、杂光的干扰，检测稳定性高。
  • 内置温度补偿模块，在高低温环境下仍能保证检测精度，温度漂移小。
  • 响应时间小于 1ms，检测速度快，能满足设备高速自动化运行的检测需求。
  • 具备过载保护功能，防止输出端短路造成传感器损坏，提升可靠性。
  • 安装方式灵活，支持支架式、嵌入式安装，适配设备不同的安装位置需求。
• 应用场景：主要应用于半导体设备的自动化控制系统，如晶圆传输机器人、EFEM 设备前端模块、晶圆载台、腔体门等部位，用于检测晶圆的有无、位置是否到位，设备部件的运动限位、开关状态等，适配 200mm、300mm 晶圆的各类制造、传输设备，保障设备自动化运行的精准性与安全性。