• 产品名称：真空腔体快开法兰接头
• 产品简介：该法兰接头是应用材料公司专为半导体设备真空腔体设计的快速连接部件，采用快开式结构设计，实现真空腔体各部件之间的快速拆装与密封连接，具备密封性能好、拆装效率高、结构坚固等特点，能在高真空环境下保持可靠密封，是提升半导体设备真空腔体维护效率、保障真空环境的关键连接部件。
• 技术规格
  • 适配真空度范围为 10⁻¹⁰Pa 至常压，满足半导体超高真空工艺的密封要求。
  • 法兰规格为 ISO 160 标准，外径为 200mm，密封槽适配全氟醚橡胶密封环。
  • 材质为 316L 不锈钢，表面经过镜面抛光处理，粗糙度 Ra 小于 0.3μm，保障密封效果。
  • 快开锁紧结构为卡扣式，锁紧数量为 8 个，均匀分布，确保受力均匀。
  • 工作温度范围为 - 150℃至 250℃，适配真空腔体的高低温工艺环境。
• 功能特点
  • 密封性能卓越，泄漏率小于 10⁻¹⁰Pa・m³/s，确保真空腔体的超高真空环境。
  • 快开式设计，单人即可完成拆装，拆装时间小于 5 分钟，大幅提升设备维护效率。
  • 锁紧结构具备防松设计，在设备振动、温度变化时无松动，保障密封的可靠性。
  • 法兰面经过硬质氧化处理，耐磨性强，反复拆装后仍能保持密封精度。
  • 结构紧凑，重量轻，适配设备内部狭小的安装空间，便于集成。
• 应用场景：主要应用于半导体设备的各类真空腔体，如刻蚀腔体、沉积腔体、真空传输腔体、超高真空分析腔体等，用于腔体与腔体、腔体与真空管路、腔体与检测部件之间的快速连接与密封，适配 200mm、300mm 晶圆的各类制造设备，提升设备真空腔体的维护效率，保障工艺所需的高真空 / 超高真空环境。