• 产品名称：晶圆传输机器人伺服电机
• 产品简介：该伺服电机是应用材料公司为半导体晶圆传输机器人量身打造的高精度动力部件，采用永磁同步电机设计，具备高精度、高响应、低噪音、高扭矩等特点，负责驱动传输机器人的各轴运动，实现晶圆的精准抓取、传输与定位，是保障晶圆传输系统自动化、高精度运行的核心动力元件，适配各类半导体晶圆传输设备。
• 技术规格
  • 电机类型为三相永磁同步伺服电机，额定功率为 750W，额定转速为 3000r/min。
  • 额定扭矩为 2.39N・m，峰值扭矩为 7.17N・m，满足机器人高速运动与精准定位的动力需求。
  • 编码器分辨率为 2048 线，支持 17 位绝对值编码，定位精度为 ±0.001mm，精度高。
  • 工作电压为 AC 200-240V，频率 50/60Hz，绝缘等级为 F 级，耐热性好。
  • 工作温度范围为 - 20℃至 70℃，防护等级为 IP65，适应设备内部的工作环境。
• 功能特点
  • 动态响应性能优异，加速时间小于 50ms，能实现机器人的高速、精准运动。
  • 低速运行平稳，无爬行现象，确保晶圆传输过程中的平稳性，避免晶圆损伤。
  • 噪音小于 50dB，运行安静，减少设备运行噪音污染。
  • 采用高精度轴承与密封结构，防尘、防水、防油污，使用寿命长，免维护周期长。
  • 与伺服驱动器的适配性好，支持全闭环控制，进一步提升定位精度。
• 应用场景：广泛应用于半导体晶圆传输系统，如 EFEM 设备前端模块、晶圆存储系统、工艺设备上下料机构、晶圆分选机等，驱动传输机器人的旋转、伸缩、升降等轴系运动，实现 200mm、300mm 晶圆的精准抓取、传输与定位，适配逻辑芯片、存储芯片、功率半导体等器件的制造、封装测试流程，保障晶圆传输的高效性与安全性。