• 产品名称：真空腔体密封波纹管组件
• 产品简介：该波纹管组件是应用材料公司专为半导体设备真空腔体研发的密封连接部件，由波纹管、法兰等组成，采用金属材质，具备良好的柔韧性与密封性，用于真空腔体与其他部件的连接，可在真空环境下实现可靠密封，同时补偿设备运行时产生的位移，保障真空腔体的真空度，是真空腔体连接的核心部件。
• 技术规格
  • 适配真空度范围为 10⁻⁸Pa 至常压，满足高真空半导体工艺要求。
  • 材质为 316L 不锈钢，波纹管壁厚为 0.2mm，法兰外径为 150mm。
  • 最大可补偿位移为 ±10mm，最大工作压力为 0.1MPa。
  • 工作温度范围为 - 40℃至 200℃，适配真空腔体的复杂工作环境。
  • 密封方式为金属密封，泄漏率小于 10⁻⁹Pa・m³/s。
• 功能特点
  • 波纹管采用多层折叠设计，柔韧性好，可承受多次伸缩变形，不易损坏。
  • 法兰表面经过镜面抛光处理，粗糙度 Ra 小于 0.4μm，提升密封性能。
  • 具备抗腐蚀能力，可抵御工艺气体的侵蚀，延长使用寿命。
  • 安装便捷，采用螺栓固定方式，可快速完成安装与拆卸。
  • 结构坚固，能承受设备运行过程中的振动与冲击，保持连接稳定。
• 应用场景：主要应用于半导体设备的真空腔体连接部位，如真空腔体与真空抽气系统、真空传输系统的连接，适配刻蚀设备、沉积设备等，保障真空腔体的高真空环境，防止气体泄漏影响工艺质量，适配 200mm、300mm 晶圆的制造设备。