• 产品名称：系统控制电源模块
• 产品简介：该电源模块是应用材料公司为半导体设备控制系统打造的核心供电部件，负责将市电转换为设备各控制部件所需的稳定直流电源，具备输出电压稳定、抗干扰能力强等特点，能保障控制系统的稳定运行，是半导体设备电气系统的关键组成部分。
• 技术规格
  • 输入电压为 AC 200-240V，频率 50/60Hz，输入电流为 10A。
  • 输出电压为 DC 24V、DC 12V、DC 5V，输出电流分别为 20A、15A、10A。
  • 输出电压精度为 ±1%，输出纹波小于 50mV，保障供电稳定性。
  • 工作温度范围为 - 20℃至 70℃，采用风冷散热方式，散热效率高。
  • 具备过流、过压、过温保护功能，保护模块与设备控制部件。
• 功能特点
  • 采用开关电源技术，转换效率高达 90%，降低能耗，减少设备发热。
  • 抗电磁干扰能力强，符合工业级电磁兼容性标准，避免干扰控制信号。
  • 具备冗余设计，可与备用电源模块无缝切换，保障供电连续性。
  • 体积小，尺寸为 200mm×150mm×80mm，适配设备内部狭小的安装空间。
  • 安装方式为导轨式，拆装便捷，便于维护与更换。
• 应用场景：适用于各类半导体制造设备的控制系统，如等离子体刻蚀机、化学气相沉积设备、晶圆传输机器人等，为设备的 PLC、传感器、执行器等控制部件提供稳定供电，保障设备自动化运行的精准性与可靠性，适配 200mm、300mm 晶圆的制造设备。