• 产品名称：工业级数字量输入模块
• 产品简介：该产品是应用材料公司为半导体设备控制系统研发的专用数字信号采集部件，主要负责将设备中的各类数字开关信号、限位信号、状态信号进行精准采集与隔离传输，转换为控制系统可识别的标准信号，具备采集精度高、抗干扰能力强、通道容量大等特点，是半导体设备自动化控制系统中实现信号采集的关键基础部件。
• 技术规格
  • 具备 32 路独立数字量输入通道，采用差分输入方式，适配 NPN/PNP 两种信号类型，无需跳线切换。
  • 输入信号电压范围为 DC 12-24V，输入电流≤10mA，兼容设备各类传感器输出信号。
  • 信号隔离方式为光电隔离，隔离电压高达 2500V AC，有效防止外部干扰信号进入控制系统。
  • 采样速率为 1kHz，可实现高速信号采集，满足设备高速自动化运行的需求。
  • 通信接口为 RS485，支持 Modbus-RTU 协议，可与 PLC、主控制器无缝对接，数据传输速率 19200bps。
  • 工作电压为 DC 24V±10%，功耗小于 15W，工作温度范围 - 40℃至 85℃，防护等级 IP20。
  • 具备通道状态 LED 指示灯，每路通道独立显示，故障排查直观、便捷。
• 功能特点
  • 采用模块化设计，体积小巧，支持导轨式安装，可与其他控制模块拼接，适配设备控制柜内的紧凑空间。
  • 具备输入信号滤波功能，可通过软件设置滤波时间（0-200ms），有效抑制现场电磁干扰，提升信号采集稳定性。
  • 内置电源反接保护、过流保护电路，防止接线错误或外部故障导致模块损坏，提升设备运行可靠性。
  • 支持通道故障自诊断功能，当通道出现短路、断路时，可主动向控制系统发送故障信号，便于及时维护。
  • 工业级元器件选型，宽温工作范围，能适应半导体工厂车间的复杂温度环境，长期运行无漂移。
• 应用场景：主要应用于各类半导体制造设备的控制系统，包括晶圆传输机器人、EFEM 设备前端模块、工艺腔体门控系统、流体阀门控制回路、晶圆定位系统等，用于采集限位开关、光电传感器、接近开关、阀门状态反馈等各类数字信号，适配 200mm、300mm 晶圆的制造、传输、检测设备，是半导体设备自动化控制的核心信号采集部件。