• 产品名称：系统电源分配板
• 产品简介：该产品是应用材料公司为半导体设备控制系统设计的专用电源分配部件，集成了多路电源输出、过流保护、电压监测等功能，能将设备主电源精准分配至控制系统的各模块、传感器、执行器等部件，保障各电气部件获得稳定、可靠的供电，是半导体设备电气系统中实现电源有序分配与安全保护的关键元件。
• 技术规格
  • 输入电压为 AC 220V±10%，频率 50/60Hz，最大输入电流 30A。
  • 输出通道为 12 路独立直流输出，包括 DC 24V/10A×4 路、DC 12V/5A×4 路、DC 5V/3A×4 路，满足不同部件的供电需求。
  • 每路输出均配备独立的过流保护装置，过流保护值可精准设定，保护动作时间小于 10ms。
  • 具备电压实时监测功能，可对每路输出电压进行精准检测，监测精度 ±0.1V。
  • 配备电源状态指示灯与故障报警指示灯，每路输出独立显示，故障状态直观可见。
  • 基板材质为 FR-4 玻纤环氧树脂板，厚度 2.0mm，铜箔厚度 35μm，导电性能优异，散热性好。
  • 工作温度范围为 - 40℃至 85℃，防护等级 IP20，适配设备控制柜内的工作环境。
  • 安装方式为螺钉固定，尺寸为 300mm×200mm×30mm，适配控制柜内的安装空间。
• 功能特点
  • 采用星型电源分配设计，各输出通道相互独立，避免单路部件故障影响其他通道供电，提升供电可靠性。
  • 每路输出均配备 EMI 滤波电路，能有效抑制电源中的电磁干扰，保障控制系统各模块的稳定工作。
  • 内置电源反接保护、浪涌保护电路，防止外部电源波动、接线错误对设备电气部件造成损坏。
  • 具备故障自诊断功能，当某路输出出现过流、欠压、过压故障时，可主动切断该路供电，并触发报警信号，便于及时排查。
  • 元器件均采用工业级宽温型号，长期运行无漂移，能适应半导体工厂的复杂温度环境，稳定性优异。
  • 布线采用分层设计，强电与弱电分离，避免电磁干扰，保障电压监测的精准性与信号传输的稳定性。
• 应用场景：适用于各类半导体制造设备的控制系统，包括等离子体刻蚀机、化学气相沉积设备、晶圆传输机器人、EFEM 设备前端模块、检测分选设备等，为设备的 PLC、控制模块、传感器、电磁阀、指示灯等电气部件提供稳定的电源分配与安全保护，适配 200mm、300mm 晶圆的制造、传输、检测全流程设备，是半导体设备电气系统稳定运行的重要保障。