• 产品名称：气体过滤器滤芯
• 产品简介：这是一款用于半导体制造设备的气体过滤核心部件，适配于 AMAT 多款气体输送系统，用于去除气体中的微小颗粒、水分、油污等杂质，保障工艺气体的高纯度，避免杂质影响晶圆加工质量。
• 技术规格
  • 过滤精度：0.01 微米，能够拦截绝大多数微小颗粒污染物。
  • 工作压力：最高可达 10 bar，满足半导体设备气体输送的压力要求。
  • 工作温度：-20℃至 80℃，适配不同工况下的气体温度环境。
  • 接口规格：采用标准的卡套式接口，适配常用的气体输送管道尺寸。
  • 材质：滤材为聚四氟乙烯，外壳为不锈钢，具有良好的耐腐蚀性和化学稳定性。
• 功能特点
  • 具备高效过滤能力，可深度净化工艺气体，过滤效率高达 99.999%。
  • 滤芯采用折叠式设计，增大了过滤面积，延长了使用寿命，减少更换频率。
  • 结构密封性能优异，防止未经过滤的气体泄漏，保证过滤效果稳定。
  • 安装和拆卸便捷，便于日常维护和更换操作。
• 应用场景：主要应用于半导体晶圆制造中的化学气相沉积、物理气相沉积、蚀刻等工艺环节的气体输送系统，也可用于其他对气体纯度要求高的精密电子制造工艺中。