• 产品名称：真空压力传感器
• 产品简介：用于实时监测半导体工艺腔体、真空管道等部位的真空压力值，并将压力信号转换为电信号传输给设备控制系统，为工艺控制和设备保护提供数据支持。
• 技术规格
  • 测量范围：10^-9 Torr 至 1 atm，覆盖半导体工艺中常用的真空和压力范围。
  • 测量精度：±0.5% 满量程，保证压力测量的准确性。
  • 输出信号：4-20 mA 标准电流信号，便于与控制系统对接。
  • 响应时间：小于 100 ms，能够快速捕捉压力变化。
  • 工作温度：-10℃至 60℃，适应设备的工作环境。
• 功能特点
  • 测量范围宽，可满足不同工艺阶段的压力监测需求。
  • 稳定性好，漂移小，保证长期测量的可靠性。
  • 具备抗干扰能力，能够在复杂的电磁环境下正常工作。
  • 安装方式灵活，可通过螺纹或法兰等多种方式安装在设备上。
• 应用场景：广泛应用于半导体设备的真空系统、工艺腔体等部位，用于监测真空抽气过程、工艺过程中的压力变化，适配 AMAT 的各类半导体制造设备。