• 产品名称：机器人传送臂组件
• 产品简介：是半导体自动化物料传输系统中的核心部件，用于在不同的工艺模块、晶圆存储单元之间快速、精准地传送晶圆，实现晶圆的自动化流转。
• 技术规格
  • 传送晶圆尺寸：支持 200mm 和 300mm 两种规格的晶圆，兼容性强。
  • 最大传送速度：可达 1 m/s，提高物料传输效率。
  • 定位精度：重复定位精度 ±0.1 mm，保证晶圆传送的准确性。
  • 驱动方式：采用伺服电机驱动，运动平稳，响应速度快。
  • 工作环境：适应洁净室环境，防尘、防颗粒污染。
• 功能特点
  • 运动轨迹精确，可实现晶圆的平稳抓取、传送和放置，避免晶圆损坏。
  • 具备晶圆存在检测功能，防止因晶圆缺失或位置异常导致的设备故障。
  • 结构紧凑，占用空间小，便于在自动化设备中布局。
  • 维护成本低，关键部件使用寿命长，减少设备维护频率。
• 应用场景：应用于半导体晶圆制造的光刻、蚀刻、沉积等工序之间的物料传输，适配 AMAT 的自动化物料搬运系统，如 EFEM 等设备。