• 产品名称：系统控制电路板
• 产品简介：是 AMAT 半导体设备的核心控制部件，负责整合和处理设备各模块的信号，实现对设备的运行控制、工艺参数设置、状态监测和故障诊断等功能。
• 技术规格
  • 处理器：采用高性能工业级处理器，运算速度快，处理能力强。
  • 接口数量：具备多个数字量和模拟量输入 / 输出接口，以及多种通信接口，如以太网、RS232 等。
  • 工作电压：直流 24 V，适配工业设备常用的供电标准。
  • 工作温度：0℃至 50℃，适应设备电气柜的工作环境。
  • 存储容量：具备足够的存储单元，用于存储设备程序、工艺参数和运行日志。
• 功能特点
  • 集成度高，可集中控制设备的多个功能模块，简化设备的电气结构。
  • 具备强大的逻辑运算和数据处理能力，能够快速响应工艺指令和设备状态变化。
  • 支持在线编程和参数修改，便于设备的调试和工艺优化。
  • 具备完善的故障诊断功能，可快速定位设备故障，降低维修难度。
• 应用场景：作为核心控制部件，应用于 AMAT 的各类半导体制造设备中，如等离子体蚀刻机、化学机械抛光机等，是设备稳定运行的关键保障。