• 产品名称：气动执行器组件
• 产品简介：是半导体设备中门阀、挡板等部件的驱动核心，通过压缩空气提供动力，实现相关部件的精准开关动作，适配 AMAT 各类真空门阀与工艺通路控制部件，保障设备自动化运行。
• 技术规格
  • 驱动方式：双作用气动驱动，开关动作响应迅速。
  • 工作压力：0.4 MPa - 0.7 MPa，适配半导体工厂压缩空气系统压力标准。
  • 行程范围：根据适配部件不同，行程可在 10 mm - 50 mm 之间适配。
  • 输出推力：最大推力可达 500 N，满足各类门阀的密封与开启需求。
  • 响应时间：≤0.5 秒，快速完成开关动作，提升工艺节拍。
  • 防护等级：IP65，防尘防水，适应洁净室与设备内部复杂环境。
• 功能特点
  • 动作精准，重复定位精度高，确保门阀等部件开关到位，保障腔体真空或压力控制精度。
  • 具备限位保护功能，防止超行程动作导致部件损坏，延长使用寿命。
  • 适配多种控制信号，可与设备 PLC 系统无缝对接，实现自动化控制。
  • 采用耐腐蚀密封件，抵御工艺环境中微量腐蚀性气体侵蚀，密封性能持久稳定。
• 应用场景：用于 AMAT 工艺腔体的真空挡板阀、气体通路门阀等部件的驱动，适配蚀刻、沉积、离子注入等各类半导体工艺设备。