• 产品名称：工艺腔体绝缘衬套
• 产品简介：安装在半导体工艺腔体的内壁或部件连接处，起到绝缘、防腐蚀、防颗粒污染的作用，避免腔体内部部件因高压、等离子体侵蚀受损，保障工艺腔体的稳定运行，适配 AMAT 多款 200mm 晶圆工艺腔体。
• 技术规格
  • 材质：高纯氧化铝陶瓷，绝缘性能优异，耐等离子体侵蚀。
  • 适配腔体尺寸：200mm 晶圆工艺腔体，贴合腔体内部结构。
  • 厚度：5 mm - 10 mm，根据腔体部位不同适配不同规格。
  • 耐温性能：可在 800℃高温环境下长期稳定工作。
  • 绝缘电阻：≥10^12 Ω，有效阻断电流传导，防止漏电。
• 功能特点
  • 绝缘性能强，避免工艺过程中高压击穿或漏电现象，保护腔体内部电气部件。
  • 耐腐蚀性突出，可抵御氟基、氯基等腐蚀性工艺气体与等离子体的侵蚀，延长使用寿命。
  • 表面光滑致密，减少颗粒吸附与脱落，降低晶圆污染风险。
  • 安装贴合度高，采用卡扣或螺栓固定，拆卸方便，便于腔体维护清洁。
• 应用场景：应用于 AMAT 的 200mm 蚀刻腔体、物理气相沉积腔体等，安装在腔体壁、电极周边等部位，适配等离子体蚀刻、金属沉积等工艺。