• 产品名称：气体歧管组件
• 产品简介：是半导体设备工艺气体输送系统的核心分流部件，能够将单一输入的工艺气体均匀分流至多个输出端口，适配 AMAT 的气体流量控制系统，保障多组工艺喷头或腔体的气体均匀供给。
• 技术规格
  • 输入接口：1 英寸卡套接口，适配主流气体输送主管。
  • 输出端口数量：8 个，满足多支路气体输送需求。
  • 输出接口：1/4 英寸卡套接口，适配气体流量控制器的输入端口。
  • 工作压力：最高可达 10 bar，适配工艺气体的输送压力要求。
  • 材质：316L 不锈钢，内壁电解抛光，粗糙度 Ra≤0.2 μm，避免气体污染。
  • 泄漏率：≤10^-9 atm・cm³/s，密封性能优异。
• 功能特点
  • 气体分流均匀，各输出端口流量偏差小于 ±2%，保障工艺气体分布一致性。
  • 结构设计合理，气体流道流畅，减少气体滞留与压降，提升气体输送效率。
  • 具备良好的耐腐蚀性，可适配各类腐蚀性与惰性工艺气体。
  • 支持在线吹扫，便于更换气体类型时清理流道，避免气体交叉污染。
• 应用场景：应用于 AMAT 的化学气相沉积设备、原子层沉积设备等，用于工艺气体的分流输送，适配多喷头沉积、多区域蚀刻等工艺。