• 产品名称：伺服电机驱动模块
• 产品简介：是半导体设备中机器人传送臂、晶圆定位平台等运动部件的驱动核心，能够接收控制器指令，精准控制伺服电机的转速、位置与扭矩，保障运动部件的精准动作，适配 AMAT 自动化物料传输与定位系统。
• 技术规格
  • 驱动电机类型：交流伺服电机，适配多种功率规格电机。
  • 控制精度：位置控制精度 ±0.01 mm，速度控制精度 ±0.1% 额定转速。
  • 输入电压：200 V - 400 V 三相交流电，适配工业供电标准。
  • 输出功率：5 kW，满足中大功率运动部件驱动需求。
  • 通信接口：EtherCAT 总线接口，数据传输速率快，响应及时。
  • 保护功能：具备过流、过压、过热、过载等多种保护机制。
• 功能特点
  • 控制响应迅速，可在毫秒级完成指令执行，保障运动部件的高动态性能。
  • 具备位置、速度、扭矩三种控制模式，适配不同运动需求的部件。
  • 支持参数在线调整，便于设备调试与工艺优化。
  • 抗干扰能力强，在复杂电磁环境下可稳定运行，保障设备自动化流程顺畅。
• 应用场景：用于 AMAT 的晶圆传送机器人、晶圆定位平台、门阀驱动机构等，适配半导体设备的自动化物料传输、精准定位等环节，如 EFEM 系统、光刻对准平台等。