• 产品名称：真空计规管
• 产品简介：是半导体设备真空系统的核心测量部件，用于实时监测工艺腔体、真空管道内的真空度，将真空信号转换为电信号传输给控制系统，为真空抽气与工艺压力控制提供精准数据，适配 AMAT 高真空工艺设备。
• 技术规格
  • 测量范围：10^-10 Torr 至 1 Torr，覆盖超高真空至低真空区间。
  • 测量原理：热阴极电离规，测量精度高，响应迅速。
  • 输出信号：0-10 V 模拟信号，适配设备控制系统的信号采集模块。
  • 工作温度：0℃至 50℃，适应设备工作环境。
  • 加热电流：5 mA - 10 mA，稳定激发电离。
  • 耐压能力：1 atm，可承受大气压力冲击。
• 功能特点
  • 测量范围宽，可满足半导体工艺从抽气到工艺维持的全阶段真空测量需求。
  • 测量精度高，误差小于 ±5%，保障真空控制的精准性。
  • 响应速度快，可在 1 秒内捕捉真空度的快速变化，便于控制系统及时调整。
  • 具备灯丝保护功能，真空度低于设定值时自动切断加热电流，延长灯丝使用寿命。
• 应用场景：应用于 AMAT 的蚀刻腔体、沉积腔体、离子注入腔体等，实时监测腔体真空度，适配高真空工艺，如金属有机化学气相沉积、离子注入等。