• 产品名称：系统电源分配单元
• 产品简介：是半导体设备的核心供电管理部件，负责将外部输入的工业电源分配给设备的各个电气模块，如控制系统、射频电源、驱动系统等，同时提供电源保护与监测功能，保障设备电气系统的稳定运行。
• 技术规格
  • 输入电压：380 V 三相交流电，适配工业供电标准。
  • 输出支路：12 路独立输出支路，适配不同功率需求的电气模块。
  • 额定功率：10 kVA，满足中小型半导体设备的供电需求。
  • 保护功能：具备过流、过压、欠压、短路、防雷等多种保护机制。
  • 监测参数：实时监测各支路的电压、电流、功率，精度误差小于 ±1%。
  • 通信接口：RS485 接口，可将供电数据上传至设备主控系统。
• 功能特点
  • 电源分配精准，各支路独立控制，避免模块间供电干扰。
  • 保护机制完善，可快速切断故障支路电源，防止故障扩散，保护设备核心部件。
  • 支持远程监控与控制，便于操作人员实时掌握供电状态，进行远程调试。
  • 结构紧凑，集成度高，占用设备电气柜空间小，安装维护便捷。
• 应用场景：作为 AMAT 各类半导体设备（如等离子体蚀刻机、薄膜沉积设备等）的电气核心部件，安装在设备电气柜中，适配 200mm 和 300mm 晶圆制造设备的供电管理需求。