• 产品名称：气动三联件
• 产品简介：这是半导体设备气动系统的核心预处理部件，集成过滤、减压、油雾润滑三大功能，为设备的气动执行器、门阀等部件提供洁净、稳定、润滑的压缩空气，保障气动部件的稳定运行与长寿命，适配 AMAT 各类自动化气动控制模块。
• 技术规格
  • 过滤精度：5 μm，有效去除压缩空气中的水分、油污与颗粒杂质。
  • 调压范围：0.1 MPa - 0.8 MPa，适配不同气动部件的压力需求。
  • 最大流量：5000 L/min，满足多组气动部件同时工作的流量需求。
  • 油雾量：0.1 μL/L - 1 μL/L，可精准调节润滑油量。
  • 接口规格：1/2 英寸 NPT 螺纹接口，适配主流气动管道。
  • 材质：阀体为铝合金，表面阳极氧化，耐腐蚀性能强。
• 功能特点
  • 一体化集成设计，减少管路连接，降低泄漏风险，节省安装空间。
  • 调压精度高，压力波动小于 ±0.01 MPa，保障气动部件动作稳定。
  • 具备自动排水功能，可定时排出过滤腔体内的冷凝水，无需手动操作。
  • 油雾均匀稳定，为气动执行器内部部件提供持续润滑，延长密封件与运动部件寿命。
• 应用场景：应用于 AMAT 的等离子体蚀刻机、薄膜沉积设备等的气动控制系统，为气动门阀、传送臂驱动气缸等部件提供预处理后的压缩空气。