• 产品名称：真空隔离阀
• 产品简介：这是半导体设备真空系统的关键部件，用于隔离工艺腔体与真空抽气系统，或隔离不同真空区域，保障特定区域的真空度稳定，防止真空泄漏，适配 AMAT 的高真空工艺设备。
• 技术规格
  • 阀门类型：气动驱动蝶阀，开关动作迅速。
  • 通径尺寸：KF-50，适配主流真空管道规格。
  • 工作压力：10^-9 Torr 至 1 atm，覆盖超高真空至常压区间。
  • 泄漏率：≤10^-10 atm・cm³/s，密封性能优异。
  • 响应时间：≤1 秒，快速完成阀门开关动作，提升设备运行效率。
  • 阀体材质：316L 不锈钢，密封件为全氟醚橡胶，耐腐蚀性强。
• 功能特点
  • 开关动作稳定，无卡滞现象，保障真空隔离效果。
  • 具备阀门位置反馈功能，将开关状态实时传输至设备控制系统，便于监控。
  • 耐真空与大气压力冲击，可长期稳定工作，使用寿命长。
  • 安装拆卸便捷，适配设备真空管路布局，便于维护。
• 应用场景：用于 AMAT 的离子注入、物理气相沉积等设备的真空系统，隔离工艺腔体与真空泵组，适配高真空工艺环节，保障真空度稳定。