• 产品名称：伺服电机
• 产品简介：这是半导体设备自动化运动部件的驱动核心，用于驱动晶圆传送机器人、定位平台、门阀等部件，提供精准的转速、位置与扭矩控制，适配 AMAT 的自动化物料传输与定位系统。
• 技术规格
  • 电机类型：永磁同步伺服电机，功率密度高，响应速度快。
  • 额定功率：2 kW，满足中功率运动部件驱动需求。
  • 额定转速：3000 rpm，适配高速传送与定位需求。
  • 扭矩输出：6.37 N・m，保障运动部件的动力输出。
  • 编码器类型：绝对式编码器，分辨率 17 位，重复定位精度 ±0.001 mm。
  • 防护等级：IP65，防尘防水，适应洁净室环境。
• 功能特点
  • 高精度定位，配合驱动器实现精准的位置与速度控制，保障运动部件动作精准。
  • 动态响应迅速，可快速完成启停与加速减速动作，提升设备运行效率。
  • 具备过载保护功能，当负载超过设定值时自动停机，保护电机与驱动部件。
  • 低噪音低振动，运行平稳，减少对设备其他部件的影响。
• 应用场景：用于 AMAT 的 EFEM 自动化物料传输系统、晶圆定位平台、门阀驱动机构等，适配半导体设备的自动化物料传输、精准定位等环节。