• 产品名称：设备控制系统主板
• 产品简介：这是半导体设备的核心控制部件，集成了中央处理器、内存、通信接口等模块，负责设备各类工艺参数的计算、控制指令的发送与执行，以及设备状态的监测与反馈，适配 AMAT 多款半导体制造设备。
• 技术规格
  • 处理器型号：工业级四核处理器，主频 2.5 GHz，运算能力强。
  • 内存容量：8 GB DDR4，保障数据处理与存储速度。
  • 通信接口：EtherCAT、RS485、以太网等多种接口，适配不同设备模块通信需求。
  • 输入输出通道：32 路数字输入、32 路数字输出、8 路模拟输入、4 路模拟输出。
  • 工作温度：0℃至 60℃，适应设备电气柜工作环境。
  • 供电电压：直流 24 V，适配设备电气系统供电标准。
• 功能特点
  • 多任务并行处理，可同时控制多个工艺模块，保障设备高效运行。
  • 具备数据存储功能，可记录工艺参数、设备状态等数据，便于追溯与分析。
  • 内置故障诊断程序，可实时监测设备各模块运行状态，快速定位故障位置。
  • 支持在线编程与参数修改，便于设备调试与工艺优化。
• 应用场景：作为 AMAT 等离子体蚀刻机、薄膜沉积设备、离子注入机等的主控核心，适配 200mm 和 300mm 晶圆制造工艺，保障设备自动化运行与工艺参数精准控制。