• 产品名称：系统冷却水泵
• 产品简介：这是半导体设备冷却系统的核心动力部件，用于驱动冷却水在设备冷却回路中循环流动，带走设备射频模块、工艺腔体、电源等部件产生的热量，保障设备各部件在正常温度范围内运行，适配 AMAT 的冷却系统。
• 技术规格
  • 泵类型：离心式水泵，流量稳定，压力可控。
  • 额定流量：50 L/min，满足设备冷却需求。
  • 额定扬程：30 m，保障冷却水在回路中顺畅流动。
  • 工作压力：最大 1 MPa，适配冷却系统压力标准。
  • 工作温度：5℃至 40℃，适应冷却水温度范围。
  • 电机功率：1.5 kW，能源转换效率高。
• 功能特点
  • 流量与压力稳定，保障设备各冷却部位的冷却效果均匀。
  • 具备过热、过流、缺水等保护功能，防止水泵损坏与设备过热。
  • 运行噪音低，小于 60 dB，符合洁净室噪音标准。
  • 结构紧凑，安装空间小，适配设备冷却系统布局。
• 应用场景：应用于 AMAT 的各类半导体设备冷却系统，为射频电源、工艺腔体、静电卡盘等部件提供冷却，保障设备稳定运行。