• 产品名称：等离子体源射频电源
• 产品简介：这是产生用于半导体工艺的等离子体的核心供电部件，能够输出稳定的射频功率，通过射频放电激发工艺气体形成等离子体，为蚀刻、沉积等工艺提供活性粒子，适配 AMAT 多款等离子体工艺设备。
• 技术规格
  • 输出功率：0 kW - 15 kW 连续可调，适配不同工艺的等离子体密度需求。
  • 输出频率：13.56 MHz，符合半导体主流射频工艺频率。
  • 功率稳定度：±0.1%，保障等离子体密度稳定，提升工艺均匀性。
  • 工作效率：≥90%，能源转换效率高，减少设备能耗。
  • 工作电压：三相 380 V 交流输入，适配工业供电标准。
  • 保护功能：具备过压、过流、过热、短路、电弧检测等多重保护机制。
• 功能特点
  • 功率调节精度高，可通过设备控制系统实现远程精准调节。
  • 电弧抑制功能强，当腔体出现电弧时快速切断功率输出，保护晶圆与腔体部件。
  • 电磁兼容性强，符合工业 EMC 标准，避免干扰设备其他电气模块。
  • 模块化设计，体积小，安装维护便捷，适配设备电气柜布局。
• 应用场景：用于 AMAT 的 200mm 和 300mm 等离子体蚀刻、物理气相沉积等设备，适配逻辑芯片、存储芯片制造中的各类等离子体工艺。