• 产品名称：200mm 晶圆自动传送机械手臂
• 产品简介：这是半导体自动化物料传输系统的核心部件，专为 200mm 晶圆设计，用于晶圆在设备不同工艺模块、存储单元之间的自动化传送，具备精准定位与高速传输能力，适配 AMAT 的 EFEM 系统与晶圆存储模块。
• 技术规格
  • 适配晶圆尺寸：200mm，兼容主流晶圆规格。
  • 传送速度：最大 1 m/s，提升晶圆传输效率。
  • 重复定位精度：±0.02 mm，保障晶圆传送位置精准。
  • 臂展范围：500 mm - 1500 mm，适配不同设备布局的传送距离。
  • 承载重量：最大 2 kg，可承载晶圆与晶圆盒等物料。
  • 工作温度：-10℃至 50℃，适应洁净室与设备内部环境。
• 功能特点
  • 多轴联动控制，运动轨迹精准，可在狭小空间内灵活穿梭。
  • 配备晶圆存在检测与防碰撞传感器，防止晶圆脱落与机械碰撞。
  • 防静电性能优异，避免静电击穿晶圆表面电路，保护晶圆良率。
  • 维护周期长，运行可靠性高，减少设备停机维护时间。
• 应用场景：应用于 AMAT 的 200mm 晶圆制造设备，用于光刻、蚀刻、沉积等工序间的晶圆自动化流转，适配 EFEM 系统、晶圆存储与搬运模块。