• 产品名称：气体管路组件（Gas Line Assembly）
• 产品简介：是应用材料半导体设备中用于输送工艺气体的核心组件，由不锈钢管路、接头、阀门等部件组成，可实现工艺气体的精准输送与控制，保障工艺气体的纯度与输送稳定性，适配于特定型号的半导体工艺设备的气体输送系统。
• 技术规格
  • 管路材质：316L 不锈钢，内壁经过电解抛光处理，粗糙度小于 0.05μm，减少气体杂质吸附。
  • 管路直径：1/4 英寸，适配常规工艺气体的输送流量需求。
  • 工作压力：0-10bar，可满足半导体工艺中不同气体的压力要求。
  • 适配气体类型：可输送硅烷、氨气、氟气等半导体常用工艺气体，具备良好的兼容性。
• 功能特点
  • 采用 VCR 接头，密封性能优良，泄漏率小于 1×10^-10 mbar・L/s，保障工艺气体不泄漏，同时避免外界空气进入管路。
  • 管路布局合理，减少气体流动阻力，保障气体输送的稳定性与均匀性。
  • 组件配备单向阀，可防止工艺气体回流，避免不同气体混合导致的危险与工艺异常。
  • 具备良好的耐腐蚀性，可长期在腐蚀性工艺气体环境下工作，延长组件使用寿命。
• 应用场景：应用于应用材料的 CVD、ALD（原子层沉积）等半导体工艺设备中，用于工艺气体从气源到反应腔的输送，保障沉积、刻蚀等工艺的顺利进行，适配于 200mm、300mm 等不同规格的晶圆工艺设备。