• 产品名称：陶瓷绝缘环（Ceramic Insulator Ring）
• 产品简介：是应用材料半导体设备中的核心绝缘部件，由高纯陶瓷材料制成，具备优良的绝缘性能与耐高温、耐腐蚀性能，主要用于反应腔内部不同电位部件之间的绝缘，保障设备的电气安全与工艺稳定，适配于特定型号的半导体工艺设备。
• 技术规格
  • 材质：氧化铝陶瓷，纯度达 99.7%，绝缘性能优良，击穿电压大于 20kV。
  • 尺寸：外径 150mm，内径 100mm，厚度 10mm，适配设备内部部件的安装尺寸。
  • 耐高温温度：1000℃，可承受半导体工艺中的高温环境。
  • 耐腐蚀性：可抵御半导体工艺中常用的腐蚀性气体与等离子体的侵蚀。
• 功能特点
  • 绝缘性能优良，可有效隔离不同电位的部件，避免电气短路等故障，保障设备的电气安全。
  • 具备优良的耐高温与耐腐蚀性能，可在恶劣的工艺环境下长期稳定工作，使用寿命长。
  • 热稳定性好，在高温环境下不易发生变形，保障部件之间的绝缘间隙稳定。
  • 表面经过精密加工，尺寸精度高，适配设备内部部件的安装要求，安装后无需额外调整。
• 应用场景：主要应用于应用材料的 PVD 设备、刻蚀设备等半导体工艺设备的反应腔中，用于电极与腔体壁、不同电极之间的绝缘，保障设备的正常运行与工艺的稳定进行。