• 产品名称：直流电源模块（DC Power Supply Module）
• 产品简介：是应用材料半导体设备的直流供电部件，为设备中的直流负载，如加热元件、直流电机等提供稳定的直流电源，具备精准的电压、电流调节功能，适配特定型号的半导体工艺设备的直流供电系统，保障设备各直流部件的正常运行。
• 技术规格
  • 输出电压：0-600V DC，输出电流：0-50A，满足不同直流负载的供电需求。
  • 电压调节精度：±0.1% FS，电流调节精度：±0.2% FS，保障供电的精准性。
  • 纹波系数：小于 0.5%，减少电源波动对设备部件的影响。
  • 冷却方式：强制风冷，可在满负荷状态下长期稳定工作。
• 功能特点
  • 具备恒压、恒流两种工作模式，可根据负载需求灵活切换，适配不同类型的直流负载。
  • 内置过压、过流、短路、过温等多种保护功能，当出现异常时，可快速切断电源，保护负载与电源模块本身。
  • 配备数字显示面板，可实时显示输出电压、电流等参数，便于操作人员监控。
  • 支持远程控制，可通过设备控制系统实现对电源模块的远程调节与监控。
• 应用场景：应用于应用材料的 RTP 设备、氧化炉等半导体工艺设备中，为加热模块、直流驱动部件等提供稳定的直流电源，保障工艺温度控制与设备运行的稳定性。