• 产品名称：信号调理板（Signal Conditioning Board）
• 产品简介：是应用材料半导体设备中的信号处理部件，用于对传感器采集的压力、温度等模拟信号进行放大、滤波、转换等处理，将信号转换为设备控制系统可识别的标准信号，适配特定型号的半导体工艺设备的信号采集系统，保障工艺参数检测的精准性。
• 技术规格
  • 信号输入类型：0-10V、4-20mA 模拟信号，适配多种类型的传感器输出信号。
  • 信号输出类型：4-20mA 标准模拟信号，适配设备控制系统的信号接收需求。
  • 放大倍数：1-100 倍可调，可根据传感器信号强度灵活调节。
  • 滤波频率：0.1-100Hz 可调，可有效滤除信号中的干扰噪声。
  • 工作电压：直流 24V，功耗小于 3W。
• 功能特点
  • 采用高精度运算放大器，信号处理精度高，转换误差小于 0.1%。
  • 具备信号隔离功能，可防止外部干扰信号影响设备控制系统，保障信号传输的稳定性。
  • 模块化设计，便于安装与更换，可快速维修，减少设备停机时间。
  • 具备自诊断功能，可实时监测自身工作状态，当出现故障时，及时发出报警信号。
• 应用场景：应用于应用材料的各类半导体工艺设备中，如 CVD 设备、刻蚀设备、RTP 设备等，对工艺过程中的压力、温度等参数信号进行处理，保障工艺参数检测的精准性，为工艺控制提供可靠依据。