• 产品名称：气动角座阀（Pneumatic Angle Seat Valve）
• 产品简介：是应用材料半导体设备流体管路的关键控制部件，采用气动驱动方式，用于工艺气体、冷却剂等流体的通断控制，适配特定型号的管路系统，具备响应迅速、密封优良的特点，适配半导体设备的高压、高精度流体控制需求。
• 技术规格
  • 阀门类型：气动角座阀，口径 1/2 英寸，适配设备标准管路尺寸。
  • 驱动压力：0.4-0.8MPa，适配工厂压缩空气供应压力。
  • 工作压力：0-16bar，可承受高压流体输送需求。
  • 工作温度：-20℃ - 180℃，适配多种流体介质温度范围。
  • 动作时间：开启＜0.5s，关闭＜0.3s，响应迅速。
• 功能特点
  • 采用角座结构设计，流体阻力小，流量系数大，保障流体输送效率。
  • 密封件采用 PTFE 材质，耐腐蚀性能强，泄漏率＜1×10^-9 mbar・L/s。
  • 具备阀门位置反馈功能，实时将开关状态传输至控制系统，便于监控。
  • 可适配垂直、水平等多种安装方式，适配设备内部管路布局。
• 应用场景：应用于应用材料半导体设备的工艺气体输送系统、冷却系统、废液处理系统等，控制各类流体介质的通断，适配 CVD、刻蚀、PVD 等半导体工艺设备的流体控制环节。