• 产品名称：设备紧急停止按钮组件（Emergency Stop Button Assembly）
• 产品简介：是应用材料半导体设备的核心安全部件，用于设备突发故障时快速切断主电源与工艺系统，适配特定型号的设备操作面板与电气系统，具备高可靠性与便捷操作特性，保障操作人员与设备安全。
• 技术规格
  • 按钮类型：蘑菇头自锁式紧急停止按钮，操作行程 5mm。
  • 触点类型：常开 / 常闭复合触点，额定电压 250V AC，额定电流 10A。
  • 防护等级：IP65，具备防尘、防水能力，适配设备工作环境。
  • 机械寿命：＞100 万次，电气寿命＞10 万次，满足长期使用需求。
  • 复位方式：旋转复位，防止误操作。
• 功能特点
  • 按下后快速切断设备主电路与控制电路，响应时间＜10ms，保障紧急状态下快速停机。
  • 按钮颜色采用国际标准红色，标识清晰，便于操作人员快速识别。
  • 具备防误触设计，需较大按压力度，避免非紧急情况误操作。
  • 安装底座采用卡扣式设计，可快速拆卸更换，降低维护时间。
• 应用场景：安装在应用材料各类半导体工艺设备的操作面板、设备周边安全区域，用于突发火灾、气体泄漏、机械故障等紧急情况时快速停机，适配刻蚀、CVD、PVD 等各类半导体工艺设备。