• 产品名称：不锈钢工艺管路组件（Stainless Steel Process Pipe Assembly）
• 产品简介：是应用材料半导体设备工艺气体输送系统的核心管路部件，由 316L 不锈钢制成，适配 200mm/300mm 晶圆工艺设备的气体输送需求，用于 SiH4、NF3 等腐蚀性工艺气体的输送，保障气体输送的洁净与稳定，适配 CVD、刻蚀等高精度工艺。
• 技术规格
  • 材质：316L 不锈钢，内壁电解抛光，表面粗糙度 Ra≤0.05μm。
  • 管路口径：1/4 英寸，适配设备标准气体管路尺寸。
  • 长度：2m，适配设备内部气体管路布局。
  • 工作压力：0-10bar，满足工艺气体输送压力需求。
  • 工作温度：-20℃ - 100℃，适配设备工作环境。
• 功能特点
  • 内壁电解抛光处理，减少气体残留与杂质吸附，保障工艺气体洁净度。
  • 采用氩弧焊焊接，焊缝平整无气孔，泄漏率＜1×10^-9 mbar・L/s。
  • 具备优良的耐腐蚀性，可抵御多种工艺气体侵蚀，使用寿命长。
  • 管路弯曲半径精准，适配设备内部狭小空间安装。
• 应用场景：应用于应用材料的 CVD、刻蚀、ALD 等半导体工艺设备的气体输送系统，输送各类工艺气体，保障晶圆加工工艺中气体供应的洁净与稳定，适配逻辑芯片、存储芯片等制造环节。