• 产品名称：设备压力传感器（Pressure Transducer）
• 产品简介：是应用材料半导体设备压力监测系统的关键部件，用于反应腔、气体管路等部位的压力测量，适配特定型号的设备控制系统，可将压力信号转换为标准电信号传输，保障工艺压力参数的精准监测，适配半导体高真空、高压工艺环境。
• 技术规格
  • 测量范围：0-10bar，覆盖半导体工艺常见压力区间。
  • 精度：±0.25% FS，保障压力测量的精准性。
  • 输出信号：4-20mA 标准电流信号，适配设备控制系统。
  • 工作电压：24V DC，功耗＜1W。
  • 介质兼容性：适配 SiH4、NF3 等多种腐蚀性工艺气体与冷却剂。
• 功能特点
  • 采用压阻式测量原理，响应时间＜10ms，实时反馈压力变化。
  • 具备温度补偿功能，在 - 20℃ - 80℃范围内测量误差无明显变化。
  • 外壳采用不锈钢材质，具备优良的耐腐蚀性与抗振动性能。
  • 具备过压保护功能，最大承受压力为额定压力的 2 倍，防止传感器损坏。
• 应用场景：应用于应用材料的刻蚀、CVD、PVD 等半导体工艺设备，监测反应腔真空度、工艺气体压力、冷却系统压力等参数，为工艺控制与安全保护提供可靠数据。