• 产品名称：设备驱动电机（Equipment Drive Motor）
• 产品简介：是应用材料半导体设备晶圆传输系统的核心动力部件，适配晶圆机械臂、阀门驱动等运动机构，具备高精度定位与平稳运行特性，保障晶圆传输的精准与高效，适配 200mm/300mm 晶圆工艺设备的自动化传输需求。
• 技术规格
  • 电机类型：步进电机，适配高精度定位需求。
  • 额定电压：24V DC，额定电流 3A，输出功率 72W。
  • 步距角：1.8°，定位精度高，适配晶圆传输定位需求。
  • 最大转速：3000rpm，满足设备运动机构运行速度需求。
  • 防护等级：IP54，具备防尘、防水溅能力，适配设备工作环境。
• 功能特点
  • 运行平稳，振动小，噪音＜50dB，保障晶圆传输过程中无抖动，提升传输精度。
  • 具备过载保护功能，负载超出额定值时自动停止运行，保护电机与传动机构。
  • 适配脉冲信号控制，可通过设备控制系统精准控制转速与位置。
  • 结构紧凑，安装空间小，适配设备内部运动机构布局。
• 应用场景：应用于应用材料半导体设备的晶圆传输机械臂、阀门驱动机构、晶圆承载台升降机构等，为晶圆的精准传输与设备部件的运动提供动力，适配 200mm/300mm 晶圆工艺设备的自动化生产流程。