• 产品名称：低温泵温度监控 PCB 卡（Cryo Pump Temperature Monitor PCB Card）
• 产品简介：是应用材料半导体设备低温泵系统的核心监测部件，用于实时采集与监控低温泵的温度数据，适配特定型号低温泵的温度监测需求，将温度信号转换为设备控制系统可识别的电信号，保障低温泵在高真空工艺环境下稳定运行，适配刻蚀、CVD 等需要高真空环境的半导体工艺设备。
• 技术规格
  • 监测通道：4 路，可同时监测低温泵 4 个关键部位温度。
  • 适配温度传感器类型：热电偶（K 型），适配低温泵测温元件。
  • 温度测量范围：-270℃ - 100℃，覆盖低温泵工作温度区间。
  • 测量精度：±0.5℃，保障温度监测的精准性。
  • 工作电压：24V DC，功耗最大 8.5W，适配设备供电系统。
• 功能特点
  • 具备温度超温报警功能，当温度超出设定范围时，及时触发设备保护机制，防止低温泵损坏。
  • 采用高精度 AD 转换芯片，转换精度 16 位，保障温度数据的准确性。
  • 支持 RS485 通信协议，可与设备控制系统实时交互温度数据，便于远程监控。
  • 抗干扰能力强，可在低温泵复杂电磁环境下稳定工作，数据传输稳定。
• 应用场景：应用于应用材料的刻蚀、CVD 等半导体工艺设备的低温泵系统，实时监测低温泵温度，保障低温泵维持高真空环境，适配 200mm/300mm 晶圆工艺设备的高真空工艺需求。