• 产品名称：设备接口模块（Equipment Interface Module）
• 产品简介：是应用材料半导体设备控制系统的关键接口部件，适配设备各类传感器、执行器与主控制器的连接，用于信号的转接与传输，具备信号放大、隔离功能，保障信号传输的稳定与精准，适配半导体设备复杂的电气控制系统。
• 技术规格
  • 接口类型：数字量输入 / 输出接口 16 路，模拟量输入 / 输出接口 8 路。
  • 数字量信号：24V DC，适配设备数字信号标准。
  • 模拟量信号：4-20mA、0-10V，适配设备模拟信号标准。
  • 隔离电压：2500V AC，有效防止信号干扰。
  • 工作温度：0℃ - 60℃，适配设备电气柜工作环境。
• 功能特点
  • 具备信号隔离功能，防止不同电路间信号干扰，保障信号传输精准。
  • 数字量接口具备过压、过流保护功能，保护接口模块与后续电路。
  • 模拟量接口具备信号放大功能，放大倍数可调，适配不同传感器信号强度。
  • 模块化设计，安装便捷，可快速更换，降低设备维护时间。
• 应用场景：应用于应用材料各类半导体工艺设备的控制系统，连接温度、压力、流量等传感器与阀门、电机等执行器，保障信号传输稳定，适配刻蚀、CVD、PVD 等各类半导体工艺设备。