• 产品名称：设备电源滤波器（Equipment Power Filter）
• 产品简介：是应用材料半导体设备电气系统的关键抗干扰部件，适配设备主电源输入回路，用于滤除电网中的谐波、尖峰脉冲等干扰信号，保障设备供电的稳定性，防止干扰信号影响设备控制系统与精密部件的正常工作，适配半导体设备高精度电气控制需求。
• 技术规格
  • 额定电压：380V AC，三相，适配工业供电标准。
  • 额定电流：50A，满足设备供电电流需求。
  • 滤波频率范围：10kHz - 100MHz，覆盖电网常见干扰频率区间。
  • 插入损耗：≥30dB，保障滤波效果，减少干扰信号。
  • 工作温度：-25℃ - 85℃，适配设备电气柜工作环境。
• 功能特点
  • 采用多级滤波电路设计，可有效滤除电网中的各类干扰信号，保障设备供电纯净。
  • 具备过压、过流保护功能，保护电源滤波器与设备电气系统。
  • 安装方式为导轨式，安装便捷，适配设备电气柜布局。
  • 外壳采用金属材质，屏蔽性能优良，进一步提升抗干扰能力。
• 应用场景：应用于应用材料各类半导体工艺设备的主电源输入回路，滤除电网干扰信号，保障设备控制系统、传感器、精密执行器等部件的稳定运行，适配刻蚀、CVD、PVD 等各类半导体工艺设备。