• 产品名称：气动阀门定位器（Pneumatic Valve Positioner）
• 产品简介：是应用材料半导体设备气动阀门的核心控制部件，适配特定型号的气动调节阀、气动角座阀等，用于精准控制阀门的开度，将设备控制系统的电信号转换为气动信号，保障阀门按照设定开度稳定运行，适配半导体设备工艺气体、冷却剂等流体的精准流量控制需求。
• 技术规格
  • 输入信号：4-20mA，适配设备控制系统标准信号。
  • 输出气压：0.2-1.0bar，适配气动阀门驱动需求。
  • 定位精度：±0.5%，保障阀门开度控制的精准性。
  • 响应时间：＜0.5s，快速适配阀门开度调节需求。
  • 工作温度：-20℃ - 80℃，适配设备工作环境。
• 功能特点
  • 采用电 - 气转换技术，转换精度高，保障阀门定位的准确性。
  • 具备阀门位置反馈功能，实时将阀门开度信号传输至控制系统，便于闭环控制。
  • 具备故障诊断功能，可实时监测定位器工作状态，提前预警故障。
  • 抗振动性能优良，可在设备振动环境下稳定工作，定位精准。
• 应用场景：应用于应用材料半导体设备的工艺气体输送系统、冷却系统等，控制气动阀门开度，精准调节流体流量，适配 CVD、刻蚀、PVD 等半导体工艺设备的流体控制环节。