• 产品名称：设备数据采集模块（Equipment Data Acquisition Module）
• 产品简介：是应用材料半导体设备控制系统的关键数据采集部件，用于采集设备温度、压力、流量等各类工艺参数与设备状态数据，适配特定型号的设备控制系统，具备多通道数据采集能力，保障数据采集的全面与精准，为设备工艺控制与故障诊断提供数据支持。
• 技术规格
  • 采集通道：32 路，其中模拟量通道 16 路，数字量通道 16 路。
  • 模拟量输入信号：4-20mA、0-10V，适配设备各类传感器信号。
  • 数字量输入信号：24V DC，适配设备各类状态信号。
  • 采样频率：100Hz，保障数据采集的实时性。
  • 数据存储容量：32MB，可存储大量历史数据，便于追溯分析。
• 功能特点
  • 具备数据预处理功能，对采集的数据进行滤波、校准，保障数据准确性。
  • 支持以太网通信，可将采集数据实时上传至设备控制系统，便于远程监控与数据分析。
  • 具备数据溢出报警功能，当采集数据超出设定范围时，及时触发报警。
  • 模块化设计，可根据设备需求扩展采集通道，适配不同设备的采集需求。
• 应用场景：应用于应用材料各类半导体工艺设备的控制系统，采集工艺参数与设备状态数据，为工艺优化、设备维护提供数据支持，适配刻蚀、CVD、PVD 等各类半导体工艺设备。