• 产品名称：工艺气体压力调节器（Process Gas Pressure Regulator）
• 产品简介：是应用材料半导体设备气体输送系统的关键压力控制部件，用于将工艺气体的输入压力精准调节至工艺所需压力，适配特定型号的气体管路系统，具备优良的压力调节稳定性，防止压力波动影响工艺参数，适配各类半导体工艺气体的压力调节需求。
• 技术规格
  • 输入压力范围：0-20bar，适配工厂工艺气体供应压力。
  • 输出压力范围：0-10bar，可调节至不同工艺所需压力。
  • 调节精度：±0.1bar，保障压力调节的精准性。
  • 适配气体类型：SiH4、NH3、O2 等多种半导体工艺气体。
  • 材质：阀体为 316L 不锈钢，密封件为 PTFE，耐腐蚀性能强。
• 功能特点
  • 采用精密阀芯设计，压力调节响应迅速，可快速适配工艺压力变化需求。
  • 具备压力锁定功能，调节完成后可锁定压力，防止误操作导致压力变化。
  • 密封性能优良，泄漏率小于 1×10^-9 mbar・L/s，保障气体输送的密封性。
  • 操作便捷，调节旋钮带有刻度标识，便于操作人员精准调节压力。
• 应用场景：应用于应用材料的刻蚀、CVD、ALD 等半导体工艺设备的气体输送系统，调节工艺气体压力，保障工艺气体压力稳定，适配 200mm/300mm 晶圆工艺设备的各类工艺环节。