• 产品名称：冷却系统热交换器（Cooling System Heat Exchanger）
• 产品简介：是应用材料半导体设备冷却系统的核心部件，适配特定型号的设备冷却回路，用于将设备反应腔、射频电源等发热部件的热量通过冷却剂带走，保障设备部件工作温度在正常范围，具备高效率换热性能，适配半导体设备高温部件的冷却需求。
• 技术规格
  • 换热面积：0.5m²，保障换热效率。
  • 适配冷却剂类型：去离子水，适配半导体设备冷却标准。
  • 工作压力：0-10bar，可承受冷却系统压力需求。
  • 工作温度：-20℃ - 120℃，适配冷却系统温度范围。
  • 换热效率：≥90%，保障热量快速传递。
• 功能特点
  • 采用高效翅片式换热结构，提升换热效率，快速降低设备部件温度。
  • 材质为 316L 不锈钢，耐腐蚀性能强，适配去离子水冷却环境。
  • 具备防结垢设计，减少冷却剂中杂质沉积，保障长期换热效率。
  • 安装便捷，可快速拆卸清洗，降低设备维护时间。
• 应用场景：应用于应用材料的刻蚀设备、PVD 设备、射频电源等部件的冷却系统，高效带走设备部件热量，保障设备稳定运行，适配 200mm/300mm 晶圆工艺设备的冷却需求。