• 产品名称：热偶真空计监测 PCB 板（TC Gauge P.W.B. PCB Card）
• 产品简介：是应用材料半导体设备真空系统的核心监测部件，用于实时测量反应腔、管路等部位的真空度，适配热偶真空计的信号采集与处理需求，将真空度信号转换为设备控制系统可识别的电信号，保障设备在工艺过程中维持稳定的真空环境，适配刻蚀、CVD 等需要真空环境的半导体工艺设备。
• 技术规格
  • 测量范围：1×10^-3 mbar - 1×10^3 mbar，覆盖半导体工艺常见真空度区间。
  • 测量精度：±5% FS，保障真空度测量的精准性。
  • 适配热偶真空计类型：标准热偶真空计，适配设备真空测量元件。
  • 工作电压：24V DC，功耗小于 2W，适配设备供电系统。
  • 通信接口：RS232，可与设备控制系统实时交互真空度数据。
• 功能特点
  • 采用高精度信号处理电路，保障真空度数据的准确性与稳定性。
  • 具备真空度超限报警功能，当真空度超出设定范围时，及时触发设备保护机制。
  • 支持数据校准功能，可通过设备控制系统对测量数据进行校准，提升精度。
  • 抗干扰能力强，可在设备复杂电磁环境下稳定工作，数据传输可靠。
• 应用场景：应用于应用材料的刻蚀、CVD、PVD 等半导体工艺设备的真空系统，实时监测反应腔、管路真空度，保障工艺过程中真空环境稳定，适配 200mm/300mm 晶圆工艺设备的真空监测需求。