• 产品名称：射频电源控制 PCB 卡（RF Power Supply Control PCB Card）
• 产品简介：是应用材料半导体设备射频电源系统的核心控制部件，适配高功率射频电源模块，用于射频输出功率、频率、相位等参数的精准控制与调节，将设备控制系统指令转换为射频电源驱动信号，保障射频能量稳定输出，适配刻蚀、PVD 等需要高功率射频能量的半导体工艺设备。
• 技术规格
  • 适配射频电源功率：0-10kW，覆盖半导体主流射频功率需求。
  • 工作频率：13.56MHz，符合半导体射频工艺标准频率。
  • 控制信号：0-10V 模拟量信号，适配设备控制系统信号标准。
  • 工作电压：24V DC，功耗＜5W，适配设备供电系统。
  • 通信接口：RS485，可与设备主控制器实时交互数据。
• 功能特点
  • 采用数字信号处理技术，功率控制精度 ±0.1%，保障射频能量稳定输出。
  • 具备射频功率、反射功率监测功能，实时反馈工作状态，便于闭环控制。
  • 具备过功率、过温、过压等多重保护功能，保护射频电源与 PCB 卡本身。
  • 抗干扰能力强，可在复杂电磁环境下稳定工作，信号传输无失真。
• 应用场景：应用于应用材料刻蚀、PVD 等半导体工艺设备的射频电源系统，控制射频能量输出，保障晶圆刻蚀、金属沉积等工艺的参数稳定，适配 200mm/300mm 晶圆工艺设备。