• 产品名称：超高真空波纹管组件（Ultra - High Vacuum Bellows Assembly）
• 产品简介：是应用材料半导体设备超高真空系统的关键部件，适配反应腔与真空管路连接部位，用于真空环境下的位移补偿与密封，由不锈钢材质制成，具备优良的真空密封性能与柔韧性，适配半导体设备反应腔抽真空与部件运动位移补偿需求，保障设备真空系统稳定运行。
• 技术规格
  • 材质：316L 不锈钢，内壁电解抛光，表面粗糙度 Ra≤0.05μm。
  • 口径：2 英寸，适配设备真空管路标准尺寸。
  • 最大伸缩量：50mm，满足部件运动位移补偿需求。
  • 真空泄漏率：＜1×10^-11 mbar・L/s，满足超高真空要求。
  • 工作温度：-50℃ - 200℃，适配设备工作环境。
• 功能特点
  • 采用多层波纹结构设计，柔韧性好，可承受反复伸缩运动，使用寿命＞10000 次。
  • 两端配备真空法兰，安装便捷，密封性能优良，无需额外密封件。
  • 耐腐蚀性强，可抵御工艺气体与真空环境下的腐蚀，长期使用无泄漏。
  • 结构坚固，可承受一定外部压力，防止变形损坏。
• 应用场景：应用于应用材料刻蚀、CVD 等半导体工艺设备的超高真空系统，连接反应腔与真空管路、真空泵等部件，适配 200mm/300mm 晶圆工艺设备的真空环境需求。