• 产品名称：设备信号隔离模块（Equipment Signal Isolation Module）
• 产品简介：是应用材料半导体设备电气系统的关键抗干扰部件，适配设备各类信号传输回路，用于模拟量、数字量信号的隔离与传输，防止不同电路间信号干扰，保障信号传输的精准与稳定，适配半导体设备复杂的电气控制环境。
• 技术规格
  • 隔离通道：16 路，其中模拟量通道 8 路，数字量通道 8 路。
  • 模拟量信号：4-20mA、0-10V，适配设备传感器信号标准。
  • 数字量信号：24V DC，适配设备数字信号标准。
  • 隔离电压：3000V AC，有效防止信号干扰与漏电。
  • 工作温度：-20℃ - 70℃，适配设备电气柜工作环境。
• 功能特点
  • 采用光电隔离技术，信号传输延迟＜1μs，保障信号实时性。
  • 具备信号放大功能，放大倍数 1-10 倍可调，适配不同信号强度需求。
  • 具备过压、过流保护功能，保护模块与后续电路，防止损坏。
  • 模块化设计，可快速插拔更换，降低设备维护时间。
• 应用场景：应用于应用材料各类半导体工艺设备的控制系统，连接温度、压力、流量等传感器与主控制器，保障信号传输精准，适配刻蚀、CVD、PVD 等各类半导体工艺设备的电气控制环节。