• 产品名称：设备电机驱动模块（Equipment Motor Drive Module）
• 产品简介：是应用材料半导体设备自动化传输系统的核心动力部件，适配晶圆传输机械臂、阀门驱动等步进电机与伺服电机，用于电机的转速、位置精准控制，将设备控制系统脉冲信号转换为电机驱动电流，保障电机平稳运行，适配 200mm/300mm 晶圆工艺设备的自动化传输需求。
• 技术规格
  • 适配电机类型：步进电机、伺服电机，适配不同运动机构需求。
  • 额定输出电流：5A，满足电机驱动电流需求。
  • 控制信号：脉冲 / 方向信号，适配设备控制系统信号标准。
  • 工作电压：24-48V DC，适配设备供电系统。
  • 定位精度：±0.001mm，保障电机精准定位。
• 功能特点
  • 采用细分驱动技术，电机运行平稳，振动小，噪音＜45dB，提升传输精度。
  • 具备过载、过温、过流等保护功能，负载异常时自动停止运行，保护电机与驱动模块。
  • 适配多种控制模式，可通过设备控制系统精准控制电机转速与位置。
  • 结构紧凑，安装便捷，适配设备内部运动机构布局。
• 应用场景：应用于应用材料半导体设备的晶圆传输机械臂、阀门驱动机构、晶圆承载台升降机构等，为设备运动提供动力，保障晶圆精准传输，适配 200mm/300mm 晶圆工艺设备的自动化生产流程。