• 产品名称：凸面凸轮随动器组件。
• 产品简介：由 AMAT 生产、MCGILL PRECISION BEARINGS 制造的精密机械组件，MFG# 为 CFF 5/8 N SB，用于半导体设备中需要精准往复或旋转运动的机构，如传送系统、门阀驱动机构等，起到传递运动、减少摩擦的作用，保障设备机械运动的精度与稳定性。
• 技术规格
  • 型号对应轴承规格：CFF 5/8 N SB，凸面设计，适配特定凸轮轮廓。
  • 尺寸参数：凸轮随动器直径为 5/8 英寸，符合设备机械机构安装尺寸要求。
  • 额定载荷：满足半导体设备机械运动的载荷需求，静态载荷与动态载荷均符合精密机械标准。
  • 材质：轴承部分采用高硬度轴承钢，表面经特殊处理，耐磨性强；支架部分采用适配半导体洁净环境的合金材质。
• 功能特点
  • 凸面设计可减少与凸轮接触时的应力集中，提升运动平稳性与部件寿命。
  • 高精度轴承配合，摩擦系数小，保障机械运动的精准度，适配半导体设备高速、高频运动场景。
  • 结构紧凑，安装精度高，可精准匹配设备的机械传动机构。
  • 适配半导体洁净车间环境，部件清洁度符合相关标准，无粉尘污染风险。
• 应用场景：适用于 AMAT 半导体设备的晶圆传送系统、机械门阀、升降机构等需要精准凸轮传动的机械部件，如 Endura、Centura 系列设备的传送模块、工艺腔室门阀驱动机构等，保障设备机械动作的精准与稳定。